>>>技術(shù)描述>>>

1. 測(cè)量范圍：

a. X方向驅(qū)動(dòng)器：200mm；

b. Z1輪廓度量程：40mm；

c. Z1粗糙度量程：±1500μm；

d. Z1分辨率：0.1微米；

e. Z軸高度（立柱）：500mm；

f. 可測(cè)量最小內(nèi)孔：4mm；

2. 輪廓技術(shù)參數(shù)：

a. 線性精度：±（0.7+|0.012H|）μm；

b. 圓弧：±（1.2+R/12）μm；

c. 角度：±1′；

d. 直線度：0.7μm/100mm；

e. 評(píng)定長(zhǎng)度：λcX1、2、3、4、5；

a. 線性精度：≤±5%；

b. 殘值噪聲：≤0.005μm；

c. 重復(fù)穩(wěn)定性：試值3%；

d. 截止波長(zhǎng)：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm。

3. 螺紋測(cè)量評(píng)定參數(shù)：

a. 可測(cè)量最小螺紋內(nèi)徑：4-240mm；

b. 可測(cè)量最大螺紋外徑：3-240mm；

c. 線性精度：±（0.7+|0.012H|）μm；

d. 圓?。骸溃?.2+R/12）μm；

e. 角度：±1′；

f. 直線度：0.7μm/100mm。

注：H為運(yùn)行長(zhǎng)度 單位毫米。

4. 傳感器：貼片光柵尺：分辨率0.02μm；產(chǎn)地美國(guó)； 

5. 爬坡角度：上升77度，下降88度；

6. 粗糙度評(píng)定：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

7. 測(cè)量速度：0.05-20mm/s；Z軸速度：0.05-20mm/s。